离子束辅助沉积真空镀膜技术制备阵列波导光栅波导材料

• 作者: 刘德明 聂明局 马卫东 鲁平
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 导波光学 阵列波导光栅 离子束辅助沉积真空镀膜技术 偏振相关性 热稳定性
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 679-682
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 2436字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.05.022

摘要

采用离子束辅助沉积(IBAD)真空镀膜技术制备阵列波导光栅(AWG)波导材料.以固体石英玻璃材料作为衬底,采用离子束辅助沉积真空镀膜制备SiO2膜层,以实现偏振不敏感的阵列波导光栅.实验表明器件的偏振相关性大大改善,其双折射B约为1.4077×10-5,远小于二氧化硅-硅基波导结构阵列波导光栅的双折射B=2×10-4.器件的热稳定性也得以改善,当工作环境的温度变化范围为-10～70℃时,采用此方法研制的阵列波导光栅最大波长漂移为1.144 nm,小于普通的二氧化硅-硅基波导结构阵列波导光栅的波长漂移1.368 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘德明	华中科技大学光电子工程系	236	1645	17.0	27.0
2	马卫东		17	50	4.0	6.0
3	鲁平	华中科技大学光电子工程系	23	99	5.0	9.0
4	聂明局	华中科技大学光电子工程系	8	16	3.0	4.0