新型反应烧结碳化硅陶瓷的超精密磨削

• 作者: 大森 整 姜德生 戴玉堂
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 反应烧结碳化硅 超精密磨削 在线电解修整 表面特性
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 595-597
• 页数: 3页
• 分类号: TG580.613|TQ174.75
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2006.06.013

摘要

介绍了一种可用作光学反射镜材料的新型反应烧结碳化硅.采用超精密磨床结合在线电解修整的磨削方法对新型反应烧结碳化硅进行磨削,研究了不同磨粒尺寸、不同结合剂以及不同形状砂轮对磨削面性状的影响,分析了磨削面微段差的形成机理.获得了表面粗糙度Ra=0.57nm的超平滑镜面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜德生	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	202	2882	27.0	39.0
2	戴玉堂	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	40	174	7.0	12.0