粘度对含纳米粒子溶液冲蚀单晶硅表面的磨损影响

• 作者: 徐进 雒建斌
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 冲蚀磨损 纳米颗粒碰撞 单晶硅 表面损伤
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 材料工程
• 页码范围: 1303-1305,1312
• 页数: 4页
• 分类号: TH11
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2006.12.024

摘要

利用高分辨透射电子显微镜和原子力显微镜观察了含SiO2纳米颗粒溶液冲蚀硅片的表面损伤,考察了纳米颗粒碰撞单晶硅片所导致的微观物理损伤.结果表明,硅片经历一定时间冲蚀后,表面可见纳米尺度的凹坑和划痕,并发现一定厚度的非晶损伤层.抛光液粘度从1.2mPa*s增加到16mPa*s时,冲蚀后硅片表面损伤逐渐变得轻微,对应的表面凹坑最大深度从4nm减小到0.5nm,表面损伤层厚度从约12nm减小到4nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雒建斌	清华大学摩擦学国家重点实验室	96	1802	22.0	37.0
2	徐进	清华大学摩擦学国家重点实验室	15	359	7.0	15.0