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基于STM32离子注入机剂量检测控制器的设计
STM32微控制器
离子注入
剂量检测与控制
波形发生器
串列加速器-离子注入机-透射电镜联机系统的建立
原位透射电子显微镜
加速器
联机装置
离子注入
一种用于高能离子注入机射频加速的数字移相器设计
STM32微控制器
DDS芯片AD9959
离子注入
射频加速
移相器
400kV离子注入机光纤传输系统的改造
高压隔离
光纤传输
幅度-频率转换
阻抗匹配
离子注入机
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 Axcelis推出65nm工艺大剂量离子注入机
来源期刊 半导体信息 学科 工学
关键词 离子注入机 Axcelis NM 器件制造
年,卷(期) 2006,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 27-27
页数 1页 分类号 TN305
字数 语种
DOI
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2006(0)
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研究主题发展历程
节点文献
离子注入机
Axcelis
NM
器件制造
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
双月刊
16开
南京市1601信箱43分箱(南京市中山东
1990
chi
出版文献量(篇)
5953
总下载数(次)
11
总被引数(次)
664
论文1v1指导