用于MEMS传感器批量制造的微装配系统

• 作者: 孙立宁 荣伟彬 谢晖
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS传感器 批量制造 柔性装配系统
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 测试、检测与控制
• 页码范围: 1573-1579
• 页数: 7页
• 分类号: TP2
• 字数: 1214字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.069

摘要

手工操作限制了MEMS传感器的批量生产.为了降低生产成本,同时提高传感器的产品质量,研制了柔性自动阳极键合系统.该系统包括一系列功能模块,包括精密定位系统、显微视觉子系统、柔性微操作手、加热系统、键合夹具、物流系统以及其它的附属系统.通过模块重构和调整,可实现不同尺寸规格传感器的键合.基于显微视觉以及微装配系统的特性,提出了基于小波变换的自动调焦清晰度评价函数,同时提出了基于改进史密斯预估器的用于克服视觉延迟的伺服控制结构.集成一维微力传感器的微操作手可实现高精度和无损操作.为了实现自动化操作,开发了包括任务规划和实时控制功能的控制系统.试验验证了该系统的自动键合功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人研究所	98	1491	23.0	33.0
2	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
3	谢晖	哈尔滨工业大学机器人研究所	12	183	8.0	12.0