一种压阻式三轴加速度传感器的设计

• 作者: 孙剑 徐敬波 苑国英 蒋庄德 赵玉龙
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 压阻效应 SOI MEMS
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性微纳器件与技术
• 页码范围: 2197-2199
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1885字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.234

摘要

介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度.对加速度传感器结构进行了理论分析和有限元仿真优化,确定加速度传感器的结构尺寸,并详细论述了三轴加速度传感器的制备工艺步骤和测试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙剑	西安交通大学精密工程研究所机械制造系统工程国家重点实验室	13	338	7.0	13.0
2	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所机械制造系统工程国家重点实验室	165	1512	18.0	28.0
3	赵玉龙	西安交通大学精密工程研究所机械制造系统工程国家重点实验室	81	540	14.0	19.0
4	苑国英	西安交通大学精密工程研究所机械制造系统工程国家重点实验室	6	39	4.0	6.0
5	徐敬波	西安交通大学精密工程研究所机械制造系统工程国家重点实验室	6	56	5.0	6.0