灵敏度和偏移补偿的MEMS压阻式加速度传感器

• 作者: 侯倩萍 常京
• 来源期刊: 火力与指挥控制
• 学科: 地球科学
• 关键词: MEMS 压阻式加速度传感器 补偿 灵敏度 动态范围 偏移估计误差
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 理论研究
• 页码范围: 72-77
• 页数: 6页
• 分类号: P229.1
• 字数: 3572字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0640.2019.09.014

摘要

针对传感器中存在的灵敏度和偏移补偿问题,提出了一种新的MEMS压阻式加速度传感器设计,它由一个传感器和一个总的接口电路构成,可用0.18 μm商用CMOS工艺实现设计.传感器结构由8个硼扩散结晶体压敏电阻连接起来构成一个惠斯通电桥来感知加速度;接口电路由一个主放大器和传感器灵敏度及温度偏移补偿电路构成;实验结果表明,传感器具有很高的在轴加速度灵敏度和灵敏度补偿效果,整个系统具有可达5 kHz的可扩展的系统带宽,而且偏移估计误差减少到了±10μV以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯倩萍		12	1	1.0	1.0
2	常京	北京理工大学自动化学院	1	0	0.0	0.0