N2O为氧源金属有机化学气相沉积生长ZnO薄膜的光学性能研究

• 作者: 戴江南 方文卿 江风益 王立 苏宏波 蒲勇
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜光学 双电子卫星峰 光致发光 常压有机金属化学气相沉积 ZnO N2O
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1112-1114
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2+2
• 字数: 1931字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2006.07.030

摘要

采用常压金属有机化学气相沉积(AP-MOCVD)技术、三步生长法,分别以H2O和N2O为氧源,DEZn为Zn源,N2作载气,在c-Al2O3衬底上生长出了晶体质量较好的ZnO薄膜.用X射线双晶衍射(DCXRD)和光致发光谱对ZnO薄膜的结晶性能和光学性质进行表征.结果显示,ZnO倾斜对称面(10-12)的ω扫描半峰全宽为350",表明ZnO薄膜结晶性能良好;低温10 K光致发光谱结果表明,N2O为氧源生长的ZnO膜和H2O为氧源生长的ZnO膜的发光特性明显不同,没有观察到与氢有关的中性施主束缚激子对应的3.331 eV双电子卫星峰(TES).这一结果表明,用N2O为氧源生长的ZnO薄膜中不易引进氢杂质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方文卿	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	23	200	8.0	13.0
2	王立	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	48	324	10.0	14.0
3	江风益	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	60	527	12.0	19.0
4	戴江南	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	10	86	5.0	9.0
5	蒲勇	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	15	108	6.0	10.0
6	苏宏波	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	2	30	2.0	2.0