不同衬底上氧化锌薄膜的金属有机化学气相沉积方法生长

• 作者: 唐魏 李香萍 杜国同 杨佳 杨小天 王超 赵春雷 高忠民 高晓红
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 薄膜 生长 MOCVD
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 器件制备技术及器件物理
• 页码范围: 666-669
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 1073字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2009.05.009

摘要

氧化锌薄膜通过金属有机化学气相沉积方法生长在康宁玻璃与α-蓝宝石衬底上,研究了有关薄膜的生长质量与发光特性.通过X光衍射方法测试研究发现,不仅在以α-蓝宝石为衬底的样品中,同时,在以玻璃为衬底的样品中都发现了氧化锌(0 0 2)方向生长的尖峰,表明生长在两种衬底上的样品都是高度的C向生长.对两种样品的荧光谱研究发现,两者的紫外峰位于374 nm附近,在以α-蓝宝石为衬底的样品中,有深能级发射,但在以玻璃为衬底的样品中没有发现,表明在玻璃衬底上我们生长出了高质量的氧化锌薄膜.通过原子力显微镜,对生长在两种衬底上薄膜的表面形貌做了观察,其晶粒的大小与表面粗糙度有一定的差别,表明二者都是以柱状形式生长的.