MEMS压力传感器批量组装设备的研制

• 作者: 孙立宁 荣伟彬 谢晖 陈立国
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 批量组装 压力传感器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微型压力传感器
• 页码范围: 1847-1851
• 页数: 5页
• 分类号: TP2
• 字数: 4445字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.143

摘要

针对当前MEMS产业化推进过程中的小批量的发展现状,研究面向批量组装的MEMS微操作实用化系统具有重要实际价值.针对MEMS高温压力传感器产业化发展过程中的批量化键合工艺需求,从分析压力传感器键合工艺入手,研究批量组装关键技术,最后进行系统集成研制MEMS压力传感器批量组装设备.批量组装实验表明该系统可实现典型MEMS传感器批量组装,对MEMS产业化发展具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人研究所	98	1491	23.0	33.0
2	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
3	陈立国	哈尔滨工业大学机器人研究所	43	626	14.0	23.0
4	谢晖	哈尔滨工业大学机器人研究所	12	183	8.0	12.0