一种基于静电排斥力的纵向微驱动器研究

• 作者: 乔大勇 李开成 李晓莹 苑伟政 马志波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 静电排斥力 纵向微驱动器 冲程 微机电系统
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 2662-2664
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.06.079

摘要

为了消除静电塌陷对静电吸引力微驱动器冲程的限制,设计了一种基于静电排斥力的纵向微驱动器实现结构,其可动电极和固定电极在工作过程中互相远离,可以从根本上解决静电塌陷问题,且冲程不受牺牲层厚度的限制;借助Maxwell2D软件,采用数值仿真方法,研究了微驱动器结构参数对静电排斥力大小的影响.数值仿真结果表明,梳齿电极水平间距,固定/可动梳齿电极宽度和两者的比值都是影响静电排斥力大小的关键因素.