K波段单片硅MEMS谐振器

• 作者: 张勇 朱健 贾世星 郁元卫 陈辰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS谐振器 通孔阵列 基片集成波导 K波段
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1889-1891
• 页数: 3页
• 分类号: TN62
• 字数: 1791字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.154

摘要

介绍了基片集成波导技术和ICP深刻蚀微机械通孔阵列的硅基MEMS谐振器,通孔阵列和地平面形成不辐射介质波导,采用CPW电流探针与谐振腔进行信号耦合,在单层硅片上实现了平面电路与三维硅填充谐振腔的信号传输,得到低成本高性能可与平面电路集成的MEMS谐振器.谐振器工作于主模TE101模式,在片测试的Q值大于180,谐振频率21 GHz,与仿真结果吻合,芯片尺寸为4.7 mm×4.6 mm×0.5 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健		43	318	11.0	16.0
2	贾世星		20	158	8.0	11.0
3	郁元卫		20	101	6.0	9.0
4	陈辰		22	120	7.0	10.0
6	张勇		5	21	3.0	4.0