硅基高度择优取向PZT厚膜的制备及性能研究

• 作者: 刘保亭 李锋 武德起 程春生 赵庆勋 闫正 马良
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 硅衬底 锆钛酸铅 溶胶-凝胶法 厚膜
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1392-1394
• 页数: 3页
• 分类号: TN104.2|O484
• 字数: 2937字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2006.09.012

摘要

应用溶胶-凝胶法成功地在以SrTiO3(STO)为模板/阻挡层Si(001)基片上制备了La-Sr-Co-O/ Pb(Zr0.5Ti0.5)O3(PZT)/La-Sr-Co-O/STO/Si异质结,PZT的厚度为0.8μm.研究了异质结的结构和性能.实验发现,PZT结晶良好、具有(001)高度择优取向以及较高的极化强度和较小的极化强度对脉冲宽度的依赖性;当外加电压为50V时,电阻率仍＞108Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
2	赵庆勋	河北大学物理科学与技术学院	54	254	10.0	13.0
3	闫正	河北大学物理科学与技术学院	56	252	9.0	11.0
4	武德起	河北大学物理科学与技术学院	7	42	3.0	6.0
5	马良	河北大学物理科学与技术学院	6	9	2.0	2.0
6	李锋	河北大学物理科学与技术学院	10	15	2.0	3.0
7	程春生	河北大学物理科学与技术学院	4	10	1.0	3.0