单晶硅纳米梁的分子动力学模拟

• 作者: 曹共柏 李铁 杨恒 焦继伟 王跃林 陈云飞
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 分子动力学 有限元 连续介质近似 谐振频率
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳尺度性能
• 页码范围: 1686-1688
• 页数: 3页
• 分类号: O3
• 字数: 2364字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.099

摘要

采用经典的分子动力学方法,分析了两端固支的纳米梁的力学行为特征.在初始应变下,梁的表面原子发生了重构,而初始应变能仅是重构能的1%,随着分子动力学迭代的开始,初始应变能逐渐转化为梁中原子的热运动动能和梁的谐振能量.从其能量的变化曲线得到,梁的谐振频率为2.32×1010Hz.与连续介质近似结果对比发现,该谐振频率对应的杨氏模量为101 GPa,小于体硅的131 GPa,说明在该尺度下杨氏模量小于体材料.另外,分子动力学结果显示,发热是纳米梁耗散机制的重要方式,即谐振能量转化为梁中原子的热运动动能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹共柏	中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	1	3	1.0	1.0
2	焦继伟	中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	1	3	1.0	1.0
3	李铁	中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	1	3	1.0	1.0
4	杨恒	中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	1	3	1.0	1.0