抛光CVD金刚石的夹具设计及实验研究

• 作者: 孙玉静 陈五一 马泳涛
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 抛光 CVD金刚石 夹具 实验
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2211字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2007.03.010

摘要

热铁盘法抛光CVD金刚石需要在800℃以上的真空环境下进行,抛光过程中金刚石的固定,常采用陶瓷胶粘结的方法,该法在实际使过程中经常出现陶瓷胶粘结不牢而导致金刚石脱落.据此设计出一套高温真空环境下使用的金刚石夹具,在抛光厚度0.7 mm的金刚石时,将其装夹在0.4 mm深的凹槽内,留出0.3 mm左右的高度以供抛光.加载方式可以实现加热过程中无载荷,抛光过程中施加载荷.实验表明,该夹具在抛光过程中,可以实现金刚石的完全固定,并能在273 mm/s的抛光速度条件下稳定工作.在温度800℃,速度273 mm/s,载荷2.54 kg,抛光30 min的条件下,金刚石表面粗糙度可由原始的Ra9.6 μm抛光至Ra0.16 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈五一	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	205	2966	29.0	46.0
2	孙玉静	北京航空航天大学材料科学与工程学院	12	57	4.0	7.0
3	马泳涛	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	5	6	1.0	2.0