评价任意面型微光学元件制作误差的方法

• 作者: 张雨东 杜春雷 高洪涛
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 微光学元件 制作误差 泽尼克多项式 任意表面
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: O439
• 字数: 1899字
• 语种: 中文

摘要

提出一种可用于评价任意面型微光学元件制作误差的方法.利用泽尼克多项式描述微光学元件面型,针对元件检测过程中的旋转对准偏差,给出泽尼克系数随旋转角度的变化关系;以设计面型和实测面型之间的均方根偏差(RMS)为加工误差的评价指标,根据其相对于旋转角度的依赖曲线,最小的RMS即是加工误差.数值模拟结果表明,该方法可以将旋转对准偏差矫正,从而有效地评价了制作误差.该方法可应用于任意面型微光学元件的研制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张雨东	中国科学院光电技术研究所	66	505	12.0	20.0
2	杜春雷	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	72	596	14.0	18.0
3	高洪涛	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	17	72	6.0	8.0