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EA-HFCVD 沉积纳米金刚石膜的光致发光分析
EA-HFCVD 沉积纳米金刚石膜的光致发光分析
作者:
刘健敏
夏义本
徐金勇
王林军
祝雪丰
胡广
黄健
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光致发光
纳米金刚石膜
电子辅助-热丝化学气相沉积
摘要:
采用电子辅助-热丝化学气相沉积法(EA-HFCVD)在硅片上沉积出晶粒尺寸为30 nm的均匀金刚石膜.生长过程中,预先加6 A偏流生长1 h,然后在0.8 kPa条件下,无偏流生长3 h.光致发光谱中存在4个发光中心分别位于1.682 eV, 1,564 eV, 1,518 eV和1.512 eV的发光峰.1.682 eV处发光峰源于衬底硅原子掺杂于膜中引起的缺陷;其他发光峰源于金刚石晶格振动声子.光致发光强度越大对应的缺陷密度越大,从而降低了场发射域值电场强度,其关键可能源于金刚石膜电导型晶界.
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偏压增强热丝CVD
表面质量
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
温度监控装置在CVD金刚石膜沉积设备中的应用
温度监控
红外测温仪
遥控
信号发射器
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内容分析
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引文网络
相关学者/机构
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期刊文献
内容分析
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关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
EA-HFCVD 沉积纳米金刚石膜的光致发光分析
来源期刊
液晶与显示
学科
工学
关键词
光致发光
纳米金刚石膜
电子辅助-热丝化学气相沉积
年,卷(期)
2007,(5)
所属期刊栏目
研究报告
研究方向
页码范围
529-534
页数
6页
分类号
TN873.95
字数
1462字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1007-2780.2007.05.007
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
夏义本
上海大学材料科学与工程学院
111
725
13.0
19.0
2
王林军
上海大学材料科学与工程学院
109
441
11.0
14.0
3
胡广
上海大学材料科学与工程学院
5
4
1.0
1.0
4
祝雪丰
上海大学材料科学与工程学院
5
4
1.0
1.0
5
黄健
上海大学材料科学与工程学院
17
28
3.0
4.0
6
徐金勇
上海大学材料科学与工程学院
3
2
1.0
1.0
7
刘健敏
上海大学材料科学与工程学院
22
87
5.0
6.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(9)
节点文献
引证文献
(0)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1979(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1993(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1995(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1996(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1997(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1999(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2000(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2001(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2004(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2007(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
光致发光
纳米金刚石膜
电子辅助-热丝化学气相沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
液晶与显示
主办单位:
中科院长春光学精密机械与物理研究所
中国光学光电子行业协会液晶分会
中国物理学会液晶分会
出版周期:
月刊
ISSN:
1007-2780
CN:
22-1259/O4
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-203
创刊时间:
1986
语种:
chi
出版文献量(篇)
3141
总下载数(次)
7
总被引数(次)
21631
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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