应用四连杆机构的粘片机键合头设计

• 作者: 佀海燕 王海明
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 键合头 粘片机 拾片 粘片 曲柄摇杆机构
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 本期专题(封装工艺与设备)
• 页码范围: 40-42,48
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1946字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.12.008

摘要

键合头为粘片机上的关键部件,需要精确、平稳地往返于拾片和粘片位置,实现芯片的拾取、传送和粘接等动作.分析了粘片机用键合头机构的作用及性能要求,介绍了曲柄摇杆机构在粘片机键合头设计上的应用.