SiO2薄膜对蓝宝石红外透过性能的改善

• 作者: 冯丽萍 刘正堂 李强
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 红外透过率 SiO2薄膜 雨蚀
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 529-533
• 页数: 5页
• 分类号: TN213
• 字数: 4264字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2007.03.031

摘要

采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石衬底上制备了SiO2薄膜,测试了镀膜前后蓝宝石试样的红外透过率,测试并分析了镀膜与未镀膜蓝宝石试样在高温及雨蚀后的红外透过性能.结果表明,蓝宝石衬底上镀SiO2膜后红外透过率明显提高;在高温下,SiO2薄膜依然具有很好的增透作用,镀膜蓝宝石试样的平均透过率明显高于未镀膜蓝宝石试样的平均透过率;雨蚀测试后,镀膜蓝宝石试样的平均透过率损失很小,镀膜蓝宝石的红外透过率明显高于未镀膜蓝宝石的红外透过率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李强	西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室	116	784	15.0	18.0
2	刘正堂	西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室	120	749	14.0	21.0
3	冯丽萍	西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室	45	159	7.0	9.0