一种压电薄膜微致动器的致动原理分析及有限元模拟

• 作者: 孙伟杰 徐小波 林建中
• 来源期刊: 精密制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 压电薄膜 微致动器 有限元
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 制造业信息化
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TP3
• 字数: 1771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-962X.2007.04.013

摘要

介绍了硬盘磁头中的压电薄膜微致动器,用层合梁理论分析了微致动器的致动原理,得出了致动力与压电薄膜层数成正比.用有限元软件对粘有40 μm、80μm单层薄膜以及单层厚度40μm的二层和三层微致动器进行有限元仿真,其中薄膜厚度为40 μm的单层和双层的微致动器位移分别达到0.850 29μm/20V、0.827 44 μm/20V,满足了低能耗高位移的行业要求,同时比较了压电薄膜不同粘贴方式的致动效果,得出悬臂上下各粘一层薄膜的致动效果比较理想的结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林建中	上海理工大学机械工程学院	39	273	8.0	15.0
2	徐小波	上海理工大学机械工程学院	2	0	0.0	0.0
3	孙伟杰	上海理工大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0