MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究

• 作者: 尹韬 杨海钢
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电容读出电路 MEMS电容传感器 电容分辨率 CMOS
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 1188-1193
• 页数: 6页
• 分类号: TN43
• 字数: 5625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.04.016

摘要

MEMS电容式传感器的迅速发展为后续集成化读出电路的设计提出了巨大挑战.系统地分析了制约微传感器高精度电容读出电路设计的主要因素,回顾了目前主要的几种读出电路结构,阐述了这些电路的基本原理,并对影响电路分辨率的主要设计参数进行了分析和对比,最后探讨了电容式读出电路设计的发展趋势.