退火处理对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜性能的影响

• 作者: 刘君武 吕珺 吴玉程 汤文明 王建民 郑治祥 陈雯雯
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 AZO薄膜 退火处理
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 55-58,77
• 页数: 5页
• 分类号: TB43|O484.4
• 字数: 3046字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2007.02.001

摘要

采用溶胶-凝胶旋涂法在普通载玻片衬底上制备出Al3+掺杂ZnO(AZO)薄膜.对所制备的薄膜在空气气氛中进行了不同温度(400～600℃)的退火处理,并在500℃下的不同气氛(氢气和氩气)中进行退火处理.利用XRD和SEM等分析手段对薄膜进行了表征,测定了薄膜的透光性.研究表明,随空气中退火温度的提高,ZnO薄膜(002)衍射峰强度得到增强,半高宽逐渐减小,透射率从85%提高到95%.薄膜晶粒尺寸范围为23.50～29.80 nm;在氢气和氩气气氛下退火得到的薄膜性能均优于在空气中退火得到的薄膜性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴玉程	合肥工业大学材料科学与工程学院	356	3745	28.0	45.0
2	郑治祥	合肥工业大学材料科学与工程学院	157	2008	24.0	36.0
3	汤文明	合肥工业大学材料科学与工程学院	104	841	16.0	23.0
4	刘君武	合肥工业大学材料科学与工程学院	48	641	14.0	23.0
5	吕珺	合肥工业大学材料科学与工程学院	55	567	13.0	21.0
6	王建民	合肥工业大学材料科学与工程学院	34	211	8.0	12.0
7	陈雯雯	合肥工业大学材料科学与工程学院	1	6	1.0	1.0