退火温度对溶胶-凝胶法制备的 AZO薄膜性能影响的研究

• 作者: 张昕曜 支国伟 王威 薛剑鸣 赵婷婷 郝凌云 陈相均
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体材料 AZO薄膜 溶胶-凝胶法 退火温度
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 2996字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2019.01.002

摘要

以溶胶-凝胶法制备Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜.为了提高薄膜的结晶性,在氩气气氛中将所制备的薄膜分别在400℃、500℃和550℃温度下退火处理,研究不同退火温度对薄膜样品形貌和性能的影响.结果表明,所制备的AZO薄膜为六角纤锌矿结构,有很明显的c轴择优取向;随着退火温度增加,薄膜的结晶性与电导率均先增加后减小,其在可见光区域的平均透过率约为85％.当退火温度为500℃时,制备的AZO薄膜性能最佳,其品质因素可以达到2051.04Ω-1·cm-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝凌云	金陵科技学院材料工程学院	57	95	6.0	7.0
2	支国伟	金陵科技学院材料工程学院	3	1	1.0	1.0
3	王威	金陵科技学院材料工程学院	5	2	1.0	1.0
4	张昕曜	金陵科技学院材料工程学院	4	1	1.0	1.0
5	赵婷婷	金陵科技学院材料工程学院	4	1	1.0	1.0
6	薛剑鸣		2	1	1.0	1.0
7	陈相均	金陵科技学院材料工程学院	1	1	1.0	1.0