铸造多晶硅中的原生杂质

• 作者: 唐骏 席珍强 杨德仁 邓海
• 来源期刊: 中国建设动态：阳光能源
• 学科: 工学
• 关键词: 铸造多晶硅 氧 碳 铁
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 43-44
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.12

摘要

本文主要采用傅立叶红外仪、微波光电导少数载流子寿命仪研究了铸造多晶硅中的原生杂质的性质及分布规律。研究发现，铸造多晶硅中氧的浓度从底部到顶部逐渐降低。铸造多晶硅中碳的浓度分布总的趋势是从底部到顶部逐渐升高。而铸造多晶硅中铁的浓度分布则是底部和项部浓度高，中间很低，这表明晶体底部高浓度的铁主要是由于铁的分凝所致，而这些铁主要未自于晶体凝固过程中坩埚的沾污。