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Princeton小组加深对纳米压印的理解
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摘要：
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刚性模具纳米热压印直接成型技术研究与应用
纳米压印
刚性模具
成型
面向纳米压印的大行程二维精密定位平台的设计
纳米压印
精密定位
电控系统
伺服参数
激光干涉仪
纳米压印光刻中的多步定位研究
纳米压印光刻
多步定位
非线性控制
高保真度五步加载纳米压印光刻的研究
压印光刻
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期刊影响力
集成电路应用
主办单位：
上海贝岭股份有限公司
出版周期：
月刊
ISSN：
1674-2583
CN：
31-1325/TN
开本：
16开
出版地：
上海宜山路810号
邮发代号：
创刊时间：
1984
语种：
chi
出版文献量（篇）
4823
总下载数（次）
15
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4205
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