靶材制备工艺与配比对ZrW2O8薄膜制备的影响

• 作者: 徐桂芳 杨娟 程晓农 肖兆娟
• 来源期刊: 江苏大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: ZrW2O8薄膜 制备工艺 成分配比 热处理温度 生长机制 热膨胀系数
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 220-223
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174
• 字数: 2959字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2007.03.010

摘要

分别采用钨酸锆靶(ZrW2O8)和氧化锆(ZrO2)与氧化钨(WO3)的复合靶,在磁控溅射条件下制备钨酸锆(ZrW2O8)薄膜,研究了靶材制备工艺、复合靶成分配比以及热处理温度对薄膜成分的影响,并对薄膜生长方式进行了初步探讨.结果表明:ZrW2O8靶材制备的薄膜在700 ℃处理后薄膜中ZrW2O8纯度较高,相同配比下,复合靶制备的薄膜经750 ℃处理后薄膜中ZrW2O8含量最高;以n(ZrO2)∶n(WO3)为1∶2.8的复合靶材制备的薄膜经热处理后,结晶度优于n(ZrO2)∶n(WO3)为1∶2获得的薄膜,并且ZrW2O8最佳含量的热处理温度较低;热处理时薄膜的生长机制为岛状生长方式;ZrW2O8薄膜在(211)和(220)晶面上的热膨胀系数均为负值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程晓农	江苏大学材料科学与工程学院	344	2629	24.0	32.0
2	徐桂芳	江苏大学材料科学与工程学院	50	344	11.0	16.0
3	杨娟	江苏大学材料科学与工程学院	88	623	13.0	21.0
4	肖兆娟	江苏大学材料科学与工程学院	3	30	2.0	3.0