CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备和应用

• 作者: 孙方宏 曹阳珍
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 轴承支撑器 金刚石薄膜 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 524-527
• 页数: 4页
• 分类号: TG156
• 字数: 2942字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2007.04.031

摘要

轴承支撑器是轴承精密加工中的关键部件.本文采用热丝化学气相沉积(简称CVD)法,以丙酮和氢气为碳源,在WC-Co硬质合金轴承支撑器衬底上沉积金刚石薄膜,制备CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器,并应用于轴承的精密磨削加工.结果表明,合理控制衬底材料的预处理和CVD沉积工艺对金刚石薄膜质量、形貌、粗糙度和薄膜与衬底间的附着力有显著影响.与传统硬质合金轴承支撑器相比,CVD金刚石涂层轴承支撑器的耐用度和使用性能显著提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙方宏	上海交通大学机械与动力工程学院	91	969	17.0	25.0
2	曹阳珍	上海交通大学机械与动力工程学院	1	1	1.0	1.0