强电流直流伸展电弧CVD纳米金刚石涂层微型工具

• 作者: 吕反修 唐伟忠 姜春生 孟宪明 王凤英 黑立富
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 强电流直流伸展电弧 钠米金刚石涂层 工具
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 22-26
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 3260字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2007.05.006

摘要

本文研制了强直流伸展电弧金刚石涂层沉积设备,它可产生长达400 mm的等离子体弧柱,可沉积金刚石涂层的区域大,能够在复杂形状硬质合金刀具上沉积金刚石涂层,有利于实现金刚石涂层硬质合金工具的产业化生产.在直径1 mm的微型铣刀上沉积了纳米金刚石涂层,研究了沉积压力对金刚石涂层组织的影响,沉积压力对金刚石涂层的晶粒尺寸和表面形貌有显著影响.随着沉积压力的降低,沉积的金刚石涂层晶粒尺寸减小,当沉积压力为0.80 kPa时,可沉积出纳米金刚石涂层.涂层的厚度均匀,其表面光滑、平整,且与硬质合金基体之间有较好的附着力.用激光Raman对金刚石涂层进行了表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	黑立富	北京科技大学材料科学与工程学院	39	153	6.0	10.0
4	姜春生	北京科技大学材料科学与工程学院	8	22	3.0	4.0
5	王凤英	北京科技大学材料科学与工程学院	7	31	4.0	5.0
6	孟宪明	北京科技大学材料科学与工程学院	5	17	2.0	4.0