硬质合金工具强电流直流伸展弧等离子体CVD金刚石涂层的均匀性研究

• 作者: 佟玉梅 刘志凌 吕反修 唐伟忠 宋建华 张恒大 苗晋琦 赵中琴 陈利民
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 强电流直流伸展电弧 有效沉积区 金刚石涂层 均匀性
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 基金项目论文
• 页码范围: 7-10,13
• 页数: 5页
• 分类号: TF125.Q
• 字数: 1988字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2003.02.002

摘要

采用自行研制的强电流直流伸展电弧等离子体CVD设备对真空渗硼预处理的YG6刀片进行了金刚石涂层沉积,并对放于有效沉积区域不同位置沉积出的金刚石涂层刀片以及刀片自身不同位置之表面涂层的形貌、厚度、质量进行了分析、研究.结果表明:(1)、硬质合金工具强电流直流伸展弧等离子体CVD金刚石涂层的组织、形貌、厚度、质量都是均匀一致的.(2)、利用强电流直流伸展电弧等离子体CVD设备可进行硬质合金金刚石涂层的批量沉积.