等离子体技术在提高硬质合金工具上金刚石薄膜附着力方面的应用

• 作者: 汪建华 满卫东 王传新 王升高 马志斌
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 等离子体 硬质合金 附着力
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 10-13,17
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 4395字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2005.02.004

摘要

金刚石薄膜具有优异的性能,作为切削工具表面的保护性涂层,可以大幅度提高工具的使用寿命以及加工精度.硬质合金是一种广泛使用的工具材料,在其表面沉积高附着力的金刚石薄膜时存在着困难.等离子体中离子、原子或分子具有高的反应活性,等离子体技术在金刚石薄膜的制备中有着广泛应用.利用等离子体技术可以极大的消除因金刚石薄膜与硬质合金基体之间存在热应力以及由硬质合金中的钴粘结剂在化学气相沉积金刚石薄膜过程中的促石墨化作用而产生的不利影响,提高金刚石薄膜与硬质合金基底之间附着力.本文综述了等离子体技术在提高硬质合金工具表面金刚石薄膜附着力方面的研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室	57	613	12.0	20.0
2	满卫东	中国科学院等离子体物理研究所	12	309	8.0	12.0
4	马志斌	武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室	24	335	9.0	17.0
7	王传新	中国科学院等离子体物理研究所	14	340	9.0	14.0