碳基薄膜场发射中的电阻效应

• 作者: 刘军海 张兵临 王广军 邓记才
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 场发射 碳基薄膜 接触电阻
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 379-382
• 页数: 4页
• 分类号: O462
• 字数: 2333字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2007.03.021

摘要

研究了接触电阻和薄膜体电阻对场发射的影响,计算机仿真和场发射实验表明电阻的大小直接影响强电场下的场发射而对开启电场基本没有影响,随着电阻的增大场发射逐渐偏离Fowler-Nordheim特性而向线性变化过渡.在场发射模型分析的基础上,给出了平面碳基薄膜阴极的等效电路发射模型,分析表明接触电阻的大小严重影响发射的均匀性,因此优化碳膜的制备条件,保证碳膜与金属电极的良好电接触对提高发射性能、改善发射均匀性有重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓记才	郑州大学材料物理教育部重点实验室	32	155	7.0	11.0
5	张兵临	郑州大学材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
6	王广军	郑州大学信息工程学院	3	6	2.0	2.0
7	刘军海	上海大学微电子研究与发展中心	1	3	1.0	1.0