金属基体上硬质薄膜内应力的释放测量法

• 作者: 吴莹 戴嘉维 李戈扬 黄碧龙
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 硬质薄膜 内应力
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 545-548
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3114字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.06.019

摘要

提出了一种基于Stoney公式测量金属基体上硬质薄膜内应力的应力释放法,并研究了不同基底温度对磁控溅射TiN薄膜内应力的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李戈扬	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	109	1036	18.0	25.0
2	戴嘉维	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	18	231	7.0	15.0
3	吴莹	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	21	82	5.0	8.0
4	黄碧龙	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	4	17	3.0	4.0