薄膜和多层膜的X射线散射方法与应用

• 作者: 吴小山 张爱梅
• 来源期刊: 物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 X射线散射 微结构
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: X射线衍射应用专题
• 页码范围: 516-523
• 页数: 8页
• 分类号: O4
• 字数: 5284字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2007.07.004

摘要

文章主要介绍了几种X射线散射技术,包括X射线小角反射技术、X射线漫散射技术、掠入射X射线衍射和多晶薄膜的小角衍射技术.通过具体的事例说明这些X射线散射方法在薄膜研究中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴小山	南京大学固体微结构物理国家重点实验室南京大学物理系	36	180	6.0	12.0
2	张爱梅	南京大学固体微结构物理国家重点实验室南京大学物理系	2	6	1.0	2.0