高速粘片机晶片工作台的电机选型计算与运动控制

• 作者: 徐品烈
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 高速粘片机 电机选型计算 运动控制技术 双反馈
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 基础技术应用
• 页码范围: 66-70
• 页数: 5页
• 分类号: TM921
• 字数: 2230字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.01.014

摘要

论述了高速粘片机晶片工作台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机和光栅尺构成了全闭环双反馈控制系统,实现了工作台的高速、高精度定位控制.