小型化CVD金刚石膜沉积设备控制系统研究

• 作者: 卢文壮 左敦稳 徐锋 王鸿翔 钟磊
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石 控制系统 小型化 C8051F020 模糊PID
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 1058-1063,1072
• 页数: 7页
• 分类号: TB43
• 字数: 3212字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1625.2007.06.003

摘要

以新型的小型化CVD金刚石膜沉积设备为对象,设计了基于微控制器的集成控制系统,实现了对小型化设备无人看守状态下CVD金刚石膜的制备.阐述了采用混合信号SOC单片机C8051F020的系统硬件结构,实现了制备过程中各种物理量的实时采集.建立了基于模糊PID控制器混合算法的控制策略并对其进行优化.系统运用表明:该系统对沉积CVD金刚石的工艺参数控制精确,数据记录可靠,人机界面完善,系统能够长时间稳定运行,可以制备出高质量的CVD金刚石涂层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
2	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
3	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
4	钟磊	南京航空航天大学机电学院	7	126	4.0	7.0
5	王鸿翔	南京航空航天大学机电学院	6	14	3.0	3.0