残余应力对RF MEMS开关谐振频率偏移的影响

• 作者: 孙玉国
• 来源期刊: 噪声与振动控制
• 学科: 工学
• 关键词: 振动与波 RF MEMS开关 残余应力 频率方程 数值计算
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 32-33
• 页数: 2页
• 分类号: TH73
• 字数: 1094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1355.2007.06.011

摘要

由沉积工艺产生的残余应力对RF MEMS开关的动态特性有重要影响.利用变量分离法推导出桥模式RF MEMS开关的频率方程组.给出二分法求解频率方程的流程图,并进行实例计算.计算结果表明,残余应力引起的频率偏移随着t/L的减小而增加;残余应力与频率偏移之间呈现出明显的非线性特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙玉国		4	15	3.0	3.0