扩散硅压力传感器特性分析及其应用举例

• 作者: 乔立永 李进军 石成英
• 来源期刊: 仪器仪表用户
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散硅 温度补偿 非线性校正
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 应用实例
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 2357字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1041.2007.05.030

摘要

扩散硅压力传感器具有良好的性能和稳定性.本文说明了扩散硅压力传感器的工作原理,详细分析了对其进行温度综合补偿的电路,然后结合实例,介绍了压力传感器的接口电路和对其进行非线性校正的方法.