2．60版13005A晶体管芯片的设计与开发

• 作者: 张少聪 李少华
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 13005A 芯片 光刻版图设计 高压大功率 晶体管
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 页码范围: 78-80
• 页数: 3页
• 分类号: TN32

摘要

介绍了缩小13005A高压大功率平面晶体管芯片光刻版图的设计过程。给出了配合现有工艺,将尺寸为2.83×2.83 mm^2的13005晶体管芯片编至2.60×2.60mm^2的芯片替代方法,并解决了原版图上存在的多种缺陷,提高芯片的成品率,降低了芯片的生产成本。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张少聪		4	0	0.0	0.0
2	李少华		6	0	0.0	0.0