TiO2种子层对Bi3.15Nd0.85Ti3O12铁电薄膜的结晶取向和铁电性能的影响

• 作者: 于军 周文利 彭刚 李佳 王耘波
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: sol-gel Bi3.15Nd0.85Ti3O12 铁电薄膜 TiO2种子层
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1192-1196
• 页数: 5页
• 分类号: TM223
• 字数: 2698字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324x.2007.06.036

摘要

用sol-gel法分别制备了直接沉积在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上和加入了TiO2种子层的Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNT)铁电薄膜,研究了种子层对BNT薄膜结构和电学性能的影响.XRD结果表明直接沉积在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的BNT薄膜具有(117)和(001)的混合取向,而加入TiO2种子层之后薄膜的最强峰为(200)取向;FE-SEM显示具有TiO2种子层的BNT薄膜,其表面主要是由具有非c轴取向的晶粒组成且更为致密;直接沉积的BNT薄膜和具有TiO2种子层的BNT薄膜的剩余极化Pr值分别为26和43.6μC/cm2,矫顽场强Ec分别为91和80.5kV/cm;疲劳测试表明两种薄膜均具有良好的抗疲劳特性,TiO2种子层的引入并没有降低BNT薄膜的疲劳特性;两种薄膜的漏电流密度均在10-6～10-5 A/cm2之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于军	华中科技大学电子科学与技术系	103	537	11.0	16.0
2	王耘波	华中科技大学电子科学与技术系	68	398	10.0	16.0
3	彭刚	华中科技大学电子科学与技术系	79	781	15.0	25.0
4	周文利	华中科技大学电子科学与技术系	29	80	5.0	6.0
5	李佳	华中科技大学电子科学与技术系	34	116	5.0	10.0