基于PMAC的直线电机PID研究

• 作者: 刘文杰 田会峰
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 直线电机 PMAC PID 光栅尺
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 124-126
• 页数: 3页
• 分类号: TM359.4
• 字数: 2542字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7241.2007.11.044

摘要

本文介绍了PMAC运动控制器及直线电机原理,着重讲述基于PMAC控制器的直线电机PID调节,并提出了PID+前馈控制法对直线电机进行控制.该方法应用于光刻机控制系统中,并已投入现代工业.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田会峰	苏州大学机电工程学院	6	32	5.0	5.0
2	刘文杰	苏州大学机电工程学院	38	211	7.0	12.0