(Ti1-xAlx)N硬质涂层的研究进展

• 作者: 张飞 李冠斌 王君 苗彬彬 闫鹏勋 陈江涛
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: TiAlN涂层 晶体结构 抗氧化性 硬度 综述
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 699-704,691
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 字数: 3732字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.03.049

摘要

TiAlN作为一种三元复合纳米涂层材料,具有非常好的性能.该涂层克服了TiN涂层所存在的一些缺陷,其硬度远远高于TiN涂层,最高可达47GPa, 并且具有很好的热稳定性,在700℃高温下仍很稳定,而TiN涂层在500℃时就已被氧化.TiAlN涂层还具有抗磨损,摩擦系数小,热膨胀系数及热传导系数低等特性,这些特性与涂层中Al含量的多少有关,Al含量的改变会导致涂层微观结构的改变,从而使其性能发生变化.氮分压和基底温度对TiAlN涂层的性质有着极其重要影响.本文结合国内外对TiAlN涂层的最新研究进展,对TiAlN涂层的应用,制备方法,结构,抗氧化性及硬度作了简要论述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王君	兰州大学等离子体与金属材料研究所	31	381	10.0	19.0
2	闫鹏勋	兰州大学等离子体与金属材料研究所	50	460	12.0	18.0
3	李冠斌	兰州物理研究所表面工程国防科技重点实验室	5	36	4.0	5.0
4	张飞	兰州大学等离子体与金属材料研究所	1	12	1.0	1.0
5	陈江涛	兰州大学等离子体与金属材料研究所	3	42	2.0	3.0
6	苗彬彬	兰州大学等离子体与金属材料研究所	3	42	2.0	3.0