沉积时间对非晶碳/Mo2C混合薄膜场发射性能的影响

• 作者: 姚宁 孙广 王朝勇
• 来源期刊: 新乡师范高等专科学校学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 场发射 微波等离子体化学气相沉积 非晶碳 Mo2C
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: O484

摘要

在Al2O3衬底上采用微波等离子体增强化学气相沉积（MPCVD）系统中沉积薄膜,反应气体为CH4、H2。从样品的Raman谱中可以分析出薄膜中含有非晶碳成分。XRD有明显的晶态Mo2C衍射峰,所制备的薄膜为非晶碳/Mo2C混合膜。在高真空室中测量了样品的场发射特性,其开启场强为0.55 V/μm,在1.8 V/μm电场下测得样品的场发射电流密度为6.8 mA/cm^2。CCD图中可以看到样品有比较好的发光特性。研究了在一定反应条件下,沉积时间对样品场发射特性的影响,4 h制备的样品场发射性能最好。良好的场发射性能决定了所制备的样品是一种好的场致发射体。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
2	孙广	河南质量工程职业学院基础部	13	11	2.0	3.0
3	王朝勇	平顶山工学院数理系物理教研室	3	0	0.0	0.0