大口径非球面镜加工建模与控制技术

• 作者: 沈林成 陈建平
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计与制造 超精密加工 非球面磨削 补偿加工 加工精度 面形检测
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 1705-1709
• 页数: 5页
• 分类号: TH161
• 字数: 2830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.12.021

摘要

数控(NC)加工技术是解决非球面镜加工困难的一种方法.针对激光装置所使用的大口径光学玻璃非球面透镜,提出采用超精密磨削技术来实现高效、高精度的成型加工.通过加工实验研究了控制磨削切深和进给速度对表面加工质量的影响,寻找出大切深缓进给的磨削加工方式,改善了元件表面加工质量,有效抑制了加工过程引入的亚表面缺陷.开展了非球面补偿加工技术实验研究,采用等面形误差曲线补偿加工方法,能有效降低元件面形峰谷(PV)值,通过两次补偿加工,330 mm×330 mm非球面镜的磨削面形误差可控制在约3 μm,获得较为理想的面形加工精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建平		9	82	5.0	9.0
3	沈林成	国防科学技术大学电机工程与自动化学院	69	1191	18.0	32.0