基于扫描白光干涉法的接触式表面形貌轮廓测量仪

• 作者: 张玲玲 谢铁邦
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描白光干涉法 重心法 接触式测量 表面形貌
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 2328字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2007.03.006

摘要

本文提出了一种以杠杆触针机构作为微位移传感器,将扫描白光干涉法运用于接触式表面形貌测量的轮廓仪.该仪器的理论分辩力可达纳米级,与垂直扫描测量工作台相结合,测量范围可达5mm.文中重点论述了该轮廓仪测量系统的构成,测量原理,干涉信号数据处理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械学院仪器系	92	848	17.0	24.0
2	张玲玲	华中科技大学机械学院仪器系	13	59	5.0	7.0