硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算

• 作者: 任杰 樊尚春
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微机械加速度计 谐振器
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1992-1995
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.12|TH824.4|TP212.1
• 字数: 3286字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.09.013

摘要

分析了硅基谐振式微机械加速度计的工作机理,提出了一种新颖的结构形式,进行了结构的优化设计和仿真计算.用MATLAB软件分析了结构参数对性能指标的影响,用ISIGHT优化软件优化出结构参数,用ANSYS仿真软件对结构进行了静态分析和模态分析,验证了所提出结构的设计思想和优化参数的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学仪器学院	161	841	15.0	21.0
2	任杰	北京航空航天大学仪器学院	10	65	5.0	8.0