基于图像区域像素二阶中心矩的集成电路芯片图像拼接技术

• 作者: 叶邦彦 彭锐涛 徐兰英 梁忠伟
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 芯片检测 精密显微图像 像素二阶中心矩 模板匹配
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表/检测/监控
• 页码范围: 97-101
• 页数: 5页
• 分类号: TP391
• 字数: 5102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2007.07.031

摘要

在集成电路芯片光学检测中,完整而准确地获取芯片形貌的图像非常重要.针对集成电路芯片表面形貌图像获取的要求,首先讨论集成电路芯片图像放大采集系统构成及工作原理,并研究图像拼接在精密芯片图像检测中的必要性及重要性,针对集成芯片的微观表面图像特征处理的要求,提出集成电路芯片的区域像素二阶中心矩图像拼接技术,通过建立图像区域像素的二阶中心矩进行匹配点的准确搜索,随后进行芯片精密显微图像的拼接.编程实验证明,采用本方法可获得集成电路芯片表面的清晰图像,并使芯片的微观形貌和细小缺陷等细节能得到很好的展现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶邦彦	华南理工大学机械工程学院	217	2474	25.0	40.0
2	梁忠伟	华南理工大学机械工程学院	12	84	5.0	9.0
3	彭锐涛	华南理工大学机械工程学院	14	116	6.0	10.0
4	徐兰英	华南理工大学机械工程学院	21	142	7.0	10.0