纳米薄膜分析基础

• 作者: 孔梅影
• 来源期刊: 国外科技新书评介
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米尺度 物理基础 薄膜分析 薄膜材料 表征手段 现代科技 场效应管 材料表面
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: TB383

摘要

现代科技正朝着纳米尺度发展，从薄膜材料到场效应管器件，其重点是将其尺寸从微米级降到纳米级。《纳米薄膜分析基础》为配合这一发展，阐述材料表面及近表面几百纳米深度范围内材料的结构、组分等方面的表征。该书侧重于各种表征手段所基于的物理基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔梅影	中国科学院软件研究所	22	29	3.0	5.0