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一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用
一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用
作者:
王军波
陈健
陈德勇
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微机械电子系统
微杠杆结构
谐振式微加速度传感器
有限元模拟
摘要:
为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度,提出一种新颖的微杠杆结构.分析该结构的工作原理,推导该结构的理论模型,得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上,为了进一步提高微杆杠的放大倍数,对其参数进行优化,分析微杆杠结构中各参数对于放大倍数的影响,优化后该结构的放大倍数高达200.基于这种微杠杆结构设计两种分别为静电驱动/电容检测和电热驱动/压阻拾振的谐振式微加速度传感器,分别介绍这两种传感器的工作原理及其特点,并对这两种结构进行有限元模拟.模拟结果证实这两种微加速度传感器的灵敏度均高于1 000 Hz/gn,进而验证这种新提出的微杠杆结构的有效性.
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文献信息
篇名
一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用
来源期刊
传感技术学报
学科
工学
关键词
微机械电子系统
微杠杆结构
谐振式微加速度传感器
有限元模拟
年,卷(期)
2007,(2)
所属期刊栏目
物理类传感器
研究方向
页码范围
274-278
页数
5页
分类号
TN304112
字数
264字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-1699.2007.02.007
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
陈健
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
115
1360
17.0
34.0
2
陈德勇
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
48
348
11.0
16.0
3
王军波
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
41
304
10.0
16.0
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参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(1)
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2009(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2012(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
微机械电子系统
微杠杆结构
谐振式微加速度传感器
有限元模拟
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
主办单位:
东南大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
开本:
大16开
出版地:
南京市四牌楼2号东南大学
邮发代号:
创刊时间:
1988
语种:
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
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