PLD技术在功能薄膜材料研究中的应用

• 作者: 何永 刘桂珍 周小荣 周建
• 来源期刊: 中国水运(理论版)
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积(PLD) 功能薄膜 应用 研究现状
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 工程
• 页码范围: 44-45
• 页数: 2页
• 分类号: TB34
• 字数: 3054字
• 语种: 中文

摘要

薄膜材料已在半导体材料、超导材料、生物材料、微电子元件等方面得到广泛应用.为了得到高质量的薄膜材料,脉冲激光沉积技术受到了广泛的关注.本文介绍了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的原理及特点,分析了脉冲激光沉积技术在功能薄膜材料中的应用和研究现状,并展望了该技术的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周建	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	42	198	8.0	10.0
2	刘桂珍	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	28	181	8.0	12.0
3	周小荣	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	1	11	1.0	1.0
4	何永	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	2	14	2.0	2.0