脉冲激光沉积(PLD)技术及其应用研究

• 作者: 李谭 王永仓 陈钊 陈长乐 高国棉
• 来源期刊: 空军工程大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: PLD 薄膜制备 应用
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 基础理论研究
• 页码范围: 77-81
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 5600字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-3516.2005.03.023

摘要

综述了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的原理、特点,着重分析了脉冲激光沉积技术的研究现状和在功能薄膜制备中的应用前景.大量研究表明,脉冲激光沉积技术是目前最好的制备薄膜方法之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长乐	西北工业大学理学院	144	734	13.0	20.0
2	陈钊	西北工业大学理学院	21	191	6.0	13.0
3	高国棉	西北工业大学理学院	23	239	7.0	15.0
5	王永仓	西北工业大学理学院	19	171	4.0	12.0
11	李谭	西北工业大学理学院	3	112	2.0	3.0